隨著現(xiàn)代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，對刻蝕的要求越來越高，多晶硅晶片的等離子清洗設(shè)備滿足了這一要求。設(shè)備穩(wěn)定性是保證生產(chǎn)過程穩(wěn)定性和可重復(fù)性的關(guān)鍵因素之一。

　　等離子清洗機是一種多功能等離子表面處理設(shè)備，可配備不同的部件，如表面鍍(涂)、蝕刻、等離子化學(xué)反應(yīng)、粉末等離子處理等。

　　等離子清洗機對多晶硅晶片的蝕刻效果好。通過配置蝕刻部件，等離子清洗機可以實現(xiàn)蝕刻功能，性價比高，操作簡單，從而實現(xiàn)多功能。

　　等離子清洗機是一種利用低溫等離子體的特性對被處理材料進行等離子體表面處理的設(shè)備。一般等離子體處理后，材料的表面張力、潤濕性、親水性都會發(fā)生變化，達因值也會發(fā)生變化。適合達因筆測試的材料有很多，不銹鋼、玻璃、塑料、陶瓷燈等等。

　　達因值主要通過達因筆體現(xiàn)，也稱表面張力檢測筆、電暈處理筆、塑料薄膜表面張力檢測筆。有十多種不同張力的測試筆，包括32、34、36、38、40、42、44、46、48、50、52、54、56、58、60或更多，可以測試樣品的表面張力是否達到測試筆的值。

　　經(jīng)過等離子體表面清洗和活化處理后，傳統(tǒng)材料的表面能得到提高，體現(xiàn)在材料達因值提高試驗上。聚合物塑料樣品用等離子清洗機處理，比較處理前后達因值。

　　處理前達因在樣品表面劃線，劃線后慢慢收縮串珠，表明達因值在30-40之間；等離子清洗機處理后，達因筆畫線條均勻分布，無珠，說明樣品表面達因值大于50。

　　等離子清洗機處理后，材料的表面張力和表面能得到提高，為材料的后續(xù)加工和應(yīng)用提供了可能。

　　標(biāo)簽：半導(dǎo)體清洗機