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半導(dǎo)體清洗機(jī)工藝使用中有哪些清洗液

返回列表 來源: 發(fā)布日期:2020-04-28

半導(dǎo)體水基清洗劑主要用于清洗表面沾污有石蠟、油脂和油脂類高分子化合物以及表面沾污有金屬原子和金屬離子等。在半導(dǎo)體分立器件和中、小規(guī)模集成電路中能夠完全代替?zhèn)鹘y(tǒng)半導(dǎo)體清洗工藝中使用的清洗液。
  1、產(chǎn)品用途
  半導(dǎo)體水基清洗劑主要用于清洗表面沾污有石蠟、油脂和油脂類高分子化合物以及表面沾污有金屬原子和金屬離子等。在半導(dǎo)體分立器件和中、小規(guī)模集成電路中能夠完全代替?zhèn)鹘y(tǒng)半導(dǎo)體清洗工藝中使用的清洗液。
  2、產(chǎn)品特點(diǎn)
  該清洗劑清洗效果相當(dāng)于或略優(yōu)于傳統(tǒng)清洗工藝,成本卻大大降低,只有傳統(tǒng)清洗工藝成本的10~30%,而且無毒無腐蝕性、對人體無危害、對環(huán)境無污染,經(jīng)濟(jì)效益顯著。
  3、使用工藝
  配制清洗液時,將去離子水加熱到40-60℃,但不要超過60℃。或者用室溫去離子水配制亦可。然后按下列體積比進(jìn)行配制。水基清洗劑:去離子水=1:19將配制好的水基清洗劑倒入石英杯中,清洗液應(yīng)浸沒過硅片或晶體為宜,然后將石英杯置于超聲波清洗設(shè)備中(槽中應(yīng)加適量的去離子水)進(jìn)行超聲波清洗5分鐘左右,倒掉清洗液,再用熱去離子水沖洗5分鐘左右,以沖凈為宜。
  4、注意事項(xiàng)
  本品呈堿性,若不慎將本品濺到皮膚上應(yīng)立即用清水沖洗,嚴(yán)重者應(yīng)及時就醫(yī)。
  5、包裝儲存
  塑料桶包裝,可以按照客戶要求。儲存于陰涼、通風(fēng)庫房。
  標(biāo)簽:半導(dǎo)體清洗機(jī)

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